性能特征：

　　1、X射線激發(fā)系統(tǒng)：垂直上照式X射線光學系統(tǒng)。

　　2、快速、精確的分析：大面積正比計數(shù)探測器和博曼儀器50瓦微聚焦X射線光管（X射線光束強度大、斑點小，樣品激發(fā)佳）相結合。

　　3、準直器程控交換系統(tǒng)：可同時裝配4種規(guī)格的準直器。

　　4、長期穩(wěn)定性：自動熱補償功能測量儀器溫度變化并做修正，確保穩(wěn)定的測試結果。

　　5、例行進行簡單快速的波譜校準：可自動檢查儀器性能（例如靈敏性）并進行必要的修正，堅固的工業(yè)設計，可在實驗室或生產(chǎn)線上操作。

　　6、簡單的元素區(qū)分：通過次級射線濾波器分離元素的重疊光譜，性能優(yōu)化。

　　7、可分析的元素范圍大：預置800多種容易選擇的應用參數(shù)/方法。

　　8、測厚范圍可測定厚度范圍：取決于您的具體應用，基本分析功能采用基本參數(shù)法校正。

　　9、樣品種類：鍍層、涂層、薄膜、液體(鍍液中的元素含量)。

　　

　　半導體膜厚測試儀精密度測試，精密度表示對同一個對象進行多次測量，表征測試結果分散程度的物理量，它是一個與多次測試數(shù)據(jù)的標準偏差有關的物理量。目前，對一組具有嵌套性或不具有嵌套性的數(shù)據(jù)的標準偏差求解問題的研究已經(jīng)相當成熟，對測量設備精密度的研究可以轉化為對測量設備測試數(shù)據(jù)標準偏差的求解。使用成熟的數(shù)據(jù)處理方法研究比較新的高精度設備的精密度是一種簡單可行而又科學的方法。