德國Xiton Photonics成立于2005年，是一家獨立的專業(yè)激光器制造商，總部位于萊茵蘭-普法爾茨州的凱澤斯勞滕。Xiton公司擁有高度潔凈的研發(fā)與生產(chǎn)環(huán)境，光學設(shè)計、晶體生長評估、超穩(wěn)定機械加工、精密裝調(diào)等核心環(huán)節(jié)全部自主完成，公司專注于深紫外波段，用全固態(tài)倍頻技術(shù)替代傳統(tǒng)氣體激光器。IXION-193 SLM 是Xiton的明星產(chǎn)品，采用全固態(tài)路線，其核心技術(shù)是以單頻激光為種子源做放大，通過級聯(lián)非線性頻率轉(zhuǎn)換與和頻過程，最終將波長鎖定在193 nm，輸出MHz級極窄線寬、超長相干長度、光束質(zhì)量的連續(xù)波SLM激光器，在先進半導體光刻研發(fā)和晶圓缺陷檢測中扮演著不可替代的角色。

IXION-193 SLM 產(chǎn)品基本架構(gòu)為：

1064nm低噪聲種子源，種子源窄線寬，相位噪聲和強度噪聲極低,經(jīng)放大后做5倍頻處理，另外由于種子源在一定范圍內(nèi)波長可調(diào)諧，所以其5倍頻在一個較窄光譜范圍內(nèi)也是波長可調(diào)諧的。

上述1064nm種子激光放大接駁OPO晶體，可獲得一個較寬光譜范圍可調(diào)諧的窄線寬激光。

最后將上述5倍頻激光和OPO激光做合頻處理，就會得到一個193nm波段，80MHz窄線寬，80GHz范圍可調(diào)諧的穩(wěn)頻激光器。

從銷量而言，IXION-193 SLM的中心波長以193.368nm最為常見，可用做大功率193nm ArF準分子激光器的種子源，壓窄準分子激光器的線寬并提升其功率穩(wěn)定度，用以提升193nm DUV深紫外光刻的制程精度與良品率；也可做為193nm DUV波段晶圓檢測的光源，將晶圓檢測的缺陷分辨率提升到5nm級別。

IXION-193 SLM激光器

IXION-193 SLM關(guān)鍵核心參數(shù)

技術(shù)優(yōu)勢：

1. 相干性：

其光譜線寬小于80 MHz，是真正的超窄帶。而ArF準分子激光器的線寬通常在100–300 GHz，屬于寬帶多模。因此IXION-193 SLM 的相干長度超過2米。在實際光路中，兩束光即使經(jīng)歷不同的路徑，光程差達到米級，依然能保持出色的干涉對比度。這意味著可以輕松實現(xiàn)超大角度離軸干涉，將193 nm波長的物理優(yōu)勢發(fā)揮到極限。

2.高光束質(zhì)量：

而IXION-193 SLM輸出的基橫模高斯光束（TEM00），M2約1.4。這樣的光束可以直接用于生成高質(zhì)量的平面波前，干涉條紋對比度高且一致性出色，傳播特性可預(yù)測，便于做精確的光學設(shè)計和波前工程。因此凡是需要高相干檢測、干涉計量、長時間穩(wěn)定頻率參考的場景，SLM激光器幾乎都是不可替代的。

3.系統(tǒng)架構(gòu)與維護成本：

iXion-193 SLM是全固態(tài)密封設(shè)計，內(nèi)部深紫外光路密封在惰性氣體環(huán)境中，用戶不需要更換任何氣體，也不用處理有毒物質(zhì)，基本上屬于開機即用，長期運行穩(wěn)定可靠，日常維護極少。另外DUV合頻非線性晶體采用步進電機可調(diào)控的選點裝置，結(jié)果是193nmSLM激光器的整機運行壽命超過萬小時。

典型應(yīng)用場景

1. 高功率193nm ArF準分子激光器的種子源：

    在半導體光刻制程中，IXION-193-SLM窄線寬、高穩(wěn)定性的種子光注入到大功率準分子激光器中，能夠有效實現(xiàn)帶寬壓縮、改善空間模式質(zhì)量并增強長期頻率穩(wěn)定性，從而提升光刻制程的分辨率與良品率。從選型角度看，IXION-193-SLM-LC其線寬<60MHz適合做高功率193nm ArF準分子激光器的種子源。

2. 高分辨率光刻膠與下一代光刻材料的快速篩選

目前半導體研究中最急迫的需求之一即為開發(fā)高分辨率光刻膠，此處需要 193 nm 的相干光進行兩束/多束干涉曝光，以制備密集干涉條紋。iXion-193 SLM其線寬窄（<80 MHz），光譜純度高，能夠產(chǎn)生接近理論極限的高對比度干涉條紋，真實反映光刻膠性能。利用該激光器進行雙光束干涉光刻（IL），是評估光刻膠本征分辨率（Resolution）、線邊緣粗糙度（LER）和靈敏度的標準科研手段，能夠排除投影物鏡等系統(tǒng)像差的影響。IXION-193 SLM深紫外短波長，曝光過程平滑可控，極低的振幅噪聲讓曝光劑量能被非常精確地控制，這對研究光刻膠的本征分辨率和極限線寬至關(guān)重要。

3.半導體晶圓缺陷檢測

用于無圖形晶圓的暗場/明場散射檢測，以及有圖形晶圓的缺陷復檢。193 nm短波長可以探測亞10 nm量級的表面缺陷或顆粒，單縱模高相干性則允許進行干涉對比增強和相移測量，大幅提高信噪比。從選型角度看，IXION-193 SLM標準款或高功率款均為適合。

4.光譜計量：

IXION-193 SLM可以通過飽和吸收光譜等技術(shù)，用于校準真空紫外光譜儀、天體紫外光譜儀等設(shè)備。

總結(jié)

IXION-193 SLM代表了深紫外連續(xù)波單頻激光器的前沿水平。它將全固態(tài)、窄線寬、高相干性集于一身，把193 nm光源從笨重、寬帶的脈沖系統(tǒng)帶入了精密光子學工具的序列，在半導體檢測、干涉光刻、精密光譜等領(lǐng)域都是一款極其優(yōu)秀的核心光源。

德國Xiton公司的IXION-193 SLM深紫外全固態(tài)激光器在半導體制程領(lǐng)域廣泛的應(yīng)用于大功率準分子激光種子源，193nm晶圓檢測，高分辨率光刻膠研發(fā)，深紫外光譜儀波長校準等應(yīng)用。德國Xiton公司攜手其全球明星代理公司先鋒泰坦科技建立國內(nèi)授權(quán)服務(wù)點。

先鋒泰坦聚焦光電前沿，深耕行業(yè)多年攜手數(shù)百家國際光電企業(yè)，構(gòu)建長期穩(wěn)定合作；從光譜儀器，到全品類光電產(chǎn)品矩陣，專業(yè)覆蓋光譜相關(guān)產(chǎn)品、激光器產(chǎn)品、激光測量產(chǎn)品、太赫茲產(chǎn)品、光度與色度產(chǎn)品、光學元器件、探測器產(chǎn)品等核心領(lǐng)域以多元產(chǎn)品與優(yōu)質(zhì)服務(wù)，賦能光電產(chǎn)業(yè)發(fā)展。