測量原理：

　　待測樣品通過一個空氣作用的耦合探頭與棱鏡基座接觸，在薄膜與棱鏡之間產生一個空氣狹縫。一束激光光束照射到棱鏡基座上，通常會在基座上全反射進入光電探測器。在某一些入射角，稱為模式角，光子向下穿過空氣狹縫進入薄膜，進入一種被引導的光傳播模式，使到達探測器的光強度大幅降低。

　　棱鏡鏡片的厚薄差較大，在焦度計上打點和檢測時需將棱鏡jian端稍抬起，使鏡片的前表面處于水平位置，因為棱鏡鏡片在磨邊裝配過程中。考慮到美觀等因素，尖邊位置往往在厚端的靠外處，也就是說鏡片的外表面比里面更接近于水平線，因而在鏡片的視軸也更接近于外表面的光軸，而不是里表面的光軸，所以這個方向的度數應是實際有效距離，也就是說，焦距在這個方向的測量值為實際有效距離。

　　

　　該儀器可測量薄膜/基底的類型，硅襯底上幾乎任何透明或半透明材料的氧化物、氮化物、介質、聚合物或薄膜。可測量的薄膜/襯底類型：氧化物、氮化物、介電材料、聚合物、或硅襯底上幾乎任何透明或半透明材料的薄膜。

　　

　　棱鏡耦合測試儀主要應用領域：

　　1、光波導器件；

　　2、激光晶體材料；

　　3、聚合物材料；

　　4、顯示技術材料；

　　5、光/磁存儲材料；

　　6、光學薄膜。