ultraLYZE VUV透反吸系統(tǒng) ，對光學(xué)元件在 VUV 波段的透射與反射特性進(jìn)行精確表征。

產(chǎn)品型號：

更新時間：2026-06-23

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

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產(chǎn)品介紹

德國 hp spectroscopy ultraLYZE VUV透反吸系統(tǒng)特點

· 對光學(xué)元件在 VUV 波段的透射與反射特性進(jìn)行精確表征

· 模塊化系統(tǒng)設(shè)計，支持升級擴(kuò)展

· 軟件具備批量測量功能

準(zhǔn)確性

· 高效率單色儀

· 使用連續(xù)參考檢測器，確保最高的準(zhǔn)確性與穩(wěn)定性

· 支持偏振測量選項

可定制樣品室

· 多種樣品安裝，提供樣品更換方案

· 可集成樣品傳輸系統(tǒng)及對接平臺

· 有準(zhǔn)直或聚焦（<300 μm）測量光斑

· 支持吹掃或真空環(huán)境

ultraLYZE?VUV透反吸系統(tǒng)
ultraLYZE VUV standard configuration

集成成熟可靠的 easyLIGHT：VUV 單色儀，具備同類產(chǎn)品中較先的效率。
ultraLYZE VUV透反吸系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)

結(jié)構(gòu)	氘燈單色儀樣品室
波長范圍	120-350nm
波長準(zhǔn)確性	0.05nm
帶寬	1 – 10nm
精度	<0.3%
穩(wěn)定性	<0.5%/h
測量光斑	~8mm (<300um version available)
樣品室	fully customizable, integration of sample transfer systems
入射角度	0° – 70°
反射角度	7° – 180°
濾光片	可選
偏振片	可選
工作氣壓	<10-6mbar (UHV and purge versions available)
軟件是否定制尺寸	Windows UI / Labview, VB, C, C++ SDK可定制 2.5 x 1.0m